PMC程控潔凈烘箱是一臺針對集成電路封裝生產線塑封后固化時存在的污染、分層、變色等問題而研制的烘箱,通過強制排風,帶走烘烤揮發物,將各種動作、邏輯關系、相關保護、參數設定、數據通信程序化,操作員只是簡單的操作即可完成整個工藝段的烘烤,提高了烘烤工藝的可控性,增加了烘烤溫度曲線對應產品序號的可追溯性。
程控潔凈烘箱規格表
序號 |
項目內容 |
PMC程控潔凈烘箱 |
PMC程控潔凈烘箱 |
1 |
型號 |
HTM-2363 |
HTM-2364 |
2 |
使用工序 |
后固化/測試/電鍍 |
后固化/測試/電鍍(充氮) |
3 |
外形尺寸 |
1430×1050+50×1826 |
1430×1140×1860 |
4 |
內腔尺寸 |
690×680×930 |
690×680×930 |
5 |
可載烘烤產品重量 |
280KG |
360KG |
6 |
占地面積(閉門) |
1.62平方米 |
1.62平方米 |
7 |
占地面積(開門) |
2.95平方米 |
2.95平方米 |
8 |
空載重量 |
480KG |
485KG |
9 |
標稱用電功率 |
18kw |
18kw |
10 |
空載一個周期用電 |
4.5度 |
4.5度 |
11 |
滿載一個周期用電(24個彈夾,每個彈夾放置83mm寬SOP產品100條室溫--175度--保持1H--降溫到100度) |
5.9度 |
5.9度 |
12 |
產品放置情況 |
后固化1:制作專用貨架,共6層,每層水平放置4個彈夾,共計24個彈夾。 |
后固化1:制作專用層板,共3層,每層水平放置12個彈夾,共計36個彈夾。 |
13 |
溫度曲線記錄方式 |
9點溫度記錄,數據存儲在本機 |
9點溫度記錄,數據存儲在本機 |
14 |
溫度均勻性 |
±2℃ |
±2℃ |
15 |
溫度均勻性1 |
±5℃ |
±5℃ |
16 |
溫度偏差 |
±1℃ |
±1℃ |
17 |
保溫及密封性能 |
19小時 |
19小時 |
18 |
保溫及密封性能 |
小于室溫+25℃ |
小于室溫+25℃ |
19 |
箱體密封材料所能夠承受的上限溫度 |
250℃ |
250℃ |
20 |
排風節能性能(不外接排風,空載200度恒溫10分鐘后排風時,烘箱排風口溫度) |
72℃ |
72℃ |
21 |
平均輔助間隔時間 |
MTBA>168小時 |
MTBA>168小時 |
22 |
平均故障間隔時間 |
MTBF>168小時 |
MTBF>168小時 |
23 |
烘箱內膽材料 |
304不銹鋼鏡面處理材料 |
304不銹鋼鏡面處理材料 |
24 |
內膽焊接工藝 |
不銹鋼無縫氬弧焊接 |
不銹鋼無縫氬弧焊接 |
25 |
烘箱外殼材料 |
1.5mm冷軋鋼板激光切割、成型焊接 |
1.5mm冷軋鋼板激光切割、成型焊接 |
26 |
烘箱外殼處理工藝 |
高溫噴塑處理 |
高溫噴塑處理 |
27 |
烘箱保溫層材料、厚度 |
高密度壓縮成型片狀巖棉 |
高密度壓縮成型片狀巖棉 |
28 |
烘箱清潔程度 |
揮發物風道與循環風道分時隔離,揮發物大量揮發時采用強制直排方式,造成箱體污染少;不會重復污染產品。 |
揮發物風道與循環風道分時隔離,揮發物大量揮發時采用強制直排方式,造成箱體污染少;不會重復污染產品。 |
29 |
風道結構 |
升溫恒溫循環風道,降溫過風風道 |
升溫恒溫循環風道,降溫過風風道 |
30 |
進風過濾 |
過濾后進新風 |
過濾后進新風 |
31 |
排風管徑mm |
100 |
100 |
32 |
排風量 |
2915L/min |
2915L/min |
33 |
換風率 |
6.63 |
6.63 |
34 |
換風保障率 |
自帶強排風100%保證 |
自帶強排風100%保證 |
35 |
換風頻率可調 |
根據需要可編程控制,隔離系統干擾 |
根據需要可編程控制,隔離系統干擾 |
36 |
冷卻方式 |
水冷(選配)+全流量過風不開門冷卻 |
水冷(選配)+全流量過風不開門冷卻 |
37 |
冷卻管配置 |
選配 |
選配 |
38 |
循環水流量 |
/ |
/ |
39 |
進水溫度 |
/ |
/ |
40 |
出水溫度 |
/ |
/ |
41 |
循環水壓強 |
/ |
/ |
42 |
水接頭管外徑 |
φ10 |
φ10 |
43 |
氮氣流量 |
無 |
80-100L/min |
44 |
氮氣接頭管徑型號 |
無 |
φ10 |
45 |
廢熱回收配置 |
無 |
無 |
46 |
廢熱預熱后氮氣溫度 |
無 |
無 |
47 |
氮氣應急保護功能 |
無 |
氮氣流量監控功能和氮氣控制器壞時手動充氮功能 |
48 |
超溫保護1 |
9點溫控傳感器自帶超溫預警 |
9點溫控傳感器自帶超溫預警 |
49 |
超溫保護2 |
機械式溫度保護傳感器1 |
機械式溫度保護傳感器1 |
50 |
超溫保護3 |
機械式溫度保護傳感器2 |
機械式溫度保護傳感器2 |
51 |
斷電保護功能 |
如果自動運行過程斷電或運行中斷,后續固化有兩種模式供選擇:如果中斷在30分鐘內,系統得電后,將自動恢復到斷電前的狀態完成運行;如果超過30分鐘,系統將提醒進入手動模式,由人工編程完成后續固化。 |
如果自動運行過程斷電或運行中斷,后續固化有兩種模式供選擇:如果中斷在30分鐘內,系統得電后,將自動恢復到斷電前的狀態完成運行;如果超過30分鐘,系統將提醒進入手動模式,由人工編程完成后續固化。 |
52 |
ESD保護 |
Y |
Y |
53 |
控制系統 |
PLC+PC+觸摸顯示器 |
PLC+PC+觸摸顯示器 |
54 |
產品遺忘保護功能 |
產品流程卡掃描全部進出記錄對應才能啟動下一個流程,否則報警提醒。 |
產品流程卡掃描全部進出記錄對應才能啟動下一個流程,否則報警提醒。 |
55 |
工藝參數預置 |
二十項工藝參數預置 |
二十項工藝參數預置 |
56 |
產品及工藝參數---時間曲線記錄保存 |
Y |
Y |
57 |
產品及工藝參數---時間曲線記錄查詢 |
Y |
Y |
58 |
操作日志保存查詢 |
Y |
Y |
59 |
報警信息保存查詢 |
Y |
Y |
60 |
產品信息錄入 |
設備端掃描錄入 |
設備端掃描錄入 |
61 |
參數調用 |
掃描錄入/自動調取 |
掃描錄入/自動調取 |
62 |
設備群組聯網 |
Y |
Y |
63 |
與MES系統聯網 |
Y |
Y |